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FMSS系列方臺面整體平移臺

簡要描述:FMSS系列方臺面整體平移臺:精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產品非常難于設計。我們經過三年研發,反復測試,終于推出了該系列產品,并成功應?于商業化原子力顯微鏡。FMSS系列產品采?進口直線電機,集成?體式交叉滾柱導軌和光柵尺,速度均勻性波動在千分之?以內。在保證精度、承載前提下,將體積壓縮至最小。

  • 產品品牌:其他品牌
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-05-30
  • 訪  問  量:309

產品分類

Product Category

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詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
產地類別國產產品種類電動
應用領域綜合

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS系列方臺面整體平移臺

l行程覆蓋38mm、48mm

l?形臺面設計

l集成式?體化交叉滾柱導軌

l靜音位移臺

l免費標準版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產品簡介

FMSS系列方臺面整體平移臺:精度高和機身尺寸小兼而有之的運動控制產品非常難于設計。我們經過三年研發,反復測試,終于推出了該系列產品,并成功應?于商業化原子力顯微鏡。FMSS系列產品采?進口直線電機,集成?體式交叉滾柱導軌和光柵尺,速度均勻性波動在千分之?以內。在保證精度、承載前提下,將體積壓縮至最小。

產品應用

l激光打靶

l晶圓打磨

l激光工業

l美醫療

l高級儀器設備

l原?力顯微鏡

性能實測

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS系列方臺面整體平移臺

接線定義

電機接?

FMSS系列方臺面整體平移臺

反饋接?

FMSS系列方臺面整體平移臺

產品圖紙

FMSS90C-38

FMSS系列方臺面整體平移臺

FMSS125C-48

FMSS系列方臺面整體平移臺

產品參數

Model

FMSS90C-38

FMSS125C-48

行程(mm)

38

48

負載(Kg)

4

10

分辨率(μm)

0.1

0.1

最?步進量(μm)

0.3

0.3

單向重復定位精度/保證值(μm)

±0.3

±0.5

單向重復定位精度/典型值(μm)

±0.2

±0.3

雙向重復定位精度/保證值(μm)

±0.6

±1

雙向重復定位精度/典型值(μm)

±0.3

±0.5

定位精度/保證值(μm)

±2

±2

定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

最?速度(mm/s)

100

100

直線度(μm)

5

5

平整度(μm)

5

5

偏擺(arcsec)

10

10

俯仰(arcsec)

10

10

持續推力(N)

6

17.6

峰值推力(N)

24

88

重量(kg)

1.1

2.1



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